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化学指标单位：μg/L
序号 | 水质项目 | 一级高纯水指标 | 二级高纯水指标 |
1 | 电阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 电导率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 细菌总数，个/mL | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直径＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有机物（以COD计） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 钠 Na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 铁 Fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 铜 Cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 钙 Ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 镁 Mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 锌 Zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 锰 Mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
说明：①一级高纯水合用于大规模集成电路，微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
②二级高纯水合用于一般电路，分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
③本表按1980年电子产业部尺度摘录。
"工业超纯水水质标准是什么?"由“中水回用”厂家-爱游戏app官方下载水处理设备整理发布，如需转载请注明来源及出处，原文地址：//sweetcherriepie.com/news/318.htm
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